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標(biāo)準(zhǔn)參考材料® 2133

硅深度剖面標(biāo)準(zhǔn)中的磷植入物

•       SRM2133 i深度剖面中磷種植(標(biāo)準(zhǔn)品)本標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)(SRM)用于校準(zhǔn)次級(jí)離子對(duì)次級(jí)和次級(jí)離子的響應(yīng)用二次離子質(zhì)量分析技術(shù)測(cè)定硅基質(zhì)中痕量磷光譜法(SIMS)。SRM 2133是用于校準(zhǔn)SIMS儀器對(duì)磷的響應(yīng)在一組特定儀器條件下的硅矩陣。它也可以被實(shí)驗(yàn)室用作轉(zhuǎn)移物硅中磷工作標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。該SRM由1厘米× 1厘米組成以100keV的名義能量注入同位素31P的單晶硅襯底。

           SRM2133 i深度剖面中磷種植(標(biāo)準(zhǔn)品)被認(rèn)證為31P原子的保留劑量。劑量以每單位磷質(zhì)量表示單位面積。關(guān)于磷原子濃度隨深度變化的附加非認(rèn)證信息表面以下是基于SIMS分析提供的。

認(rèn)證值和不確定度:31P原子的總保留劑量由放射化學(xué)中子確定激活分析(RNAA)兩種獨(dú)立制備的磷參比溶液的等分(其中一種是NIST SRM 3139a磷標(biāo)準(zhǔn)溶液，磷濃度認(rèn)證)沉積在鋁箔并作為標(biāo)準(zhǔn)。由此產(chǎn)生的認(rèn)證值和擴(kuò)展不確定度為:

認(rèn)證值中的不確定性表示為擴(kuò)展不確定性U = kuc，其中k是覆蓋因子為2.0，給出了95%的近似置信水平，uc是計(jì)算出的綜合標(biāo)準(zhǔn)不確定度根據(jù)ISO指南[1]。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是通過對(duì)個(gè)體進(jìn)行組合得到的從測(cè)量過程中通過傳播不確定度[1]得到或估計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。的A類和B類標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來自以下測(cè)量不確定度主要來源:(1)樣本的測(cè)量復(fù)制和異質(zhì)性;(2)樣本的測(cè)量復(fù)制比較標(biāo)準(zhǔn)，(3)標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度，(4)放射化學(xué)雜質(zhì)，(5)體積(6)載流子產(chǎn)率的測(cè)定。所有已知的潛在不確定性來源都是如此被考慮[2-4]。